Resonant MEMS
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Resonant MEMS

Fundamentals, Implementation, and Application

Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse

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Resonant MEMS

Fundamentals, Implementation, and Application

Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse

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Información del libro

Part of the AMN book series, this book covers the principles, modeling and implementation as well as applications of resonant MEMS from a unified viewpoint. It starts out with the fundamental equations and phenomena that govern the behavior of resonant MEMS and then gives a detailed overview of their implementation in capacitive, piezoelectric, thermal and organic devices, complemented by chapters addressing the packaging of the devices and their stability. The last part of the book is devoted to the cutting-edge applications of resonant MEMS such as inertial, chemical and biosensors, fluid properties sensors, timing devices and energy harvesting systems.

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¿Es Resonant MEMS un PDF/ePUB en línea?
Sí, puedes acceder a Resonant MEMS de Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse en formato PDF o ePUB, así como a otros libros populares de Technology & Engineering y Microelectronics. Tenemos más de un millón de libros disponibles en nuestro catálogo para que explores.

Información

Editorial
Wiley-VCH
Año
2015
ISBN
9783527676354
Edición
1

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