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Handbook of Thin Film Deposition
Krishna Seshan
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Handbook of Thin Film Deposition
Krishna Seshan
Detalles del libro
Índice
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Información del libro
The Handbook of Thin Film Deposition is a comprehensive reference focusing on thin film technologies and applications used in the semiconductor industry and the closely related areas of thin film deposition, thin film micro properties, photovoltaic solar energy applications, new materials for memory applications and methods for thin film optical processes. In a major restructuring, this edition of the handbook lays the foundations with an up-to-date treatment of lithography, contamination and yield management, and reliability of thin films. The established physical and chemical deposition processes and technologies are then covered, the last section of the book being devoted to more recent technological developments such as microelectromechanical systems, photovoltaic applications, digital cameras, CCD arrays, and optical thin films.
- A practical survey of thin film technologies aimed at engineers and managers involved in all stages of the process: design, fabrication, quality assurance and applications
- Covers core processes and applications in the semiconductor industry and new developments in the photovoltaic and optical thin film industries
- The new edition takes covers the transition taking place in the semiconductor world from Al/SiO 2 to copper interconnects with low-k dielectrics
- Written by acknowledged industry experts from key companies in the semiconductor industry including Intel and IBM
- Foreword by Gordon E. Moore, co-founder of Intel and formulator of the renowned 'Moore's Law' relating to the technology development cycle in the semiconductor industry
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Información
Índice
- Cover image
- Title page
- Table of Contents
- Dedication
- Copyright
- Foreword
- Preface
- Acknowledgments
- About the Editor
- List of Contributors
- Scaling
- Thin Film Deposition, Equipment and Processing
- New Applications
- Index
Estilos de citas para Handbook of Thin Film Deposition
APA 6 Citation
[author missing]. (2012). Handbook of Thin Film Deposition (3rd ed.). Elsevier Science. Retrieved from https://www.perlego.com/book/1837651/handbook-of-thin-film-deposition-pdf (Original work published 2012)
Chicago Citation
[author missing]. (2012) 2012. Handbook of Thin Film Deposition. 3rd ed. Elsevier Science. https://www.perlego.com/book/1837651/handbook-of-thin-film-deposition-pdf.
Harvard Citation
[author missing] (2012) Handbook of Thin Film Deposition. 3rd edn. Elsevier Science. Available at: https://www.perlego.com/book/1837651/handbook-of-thin-film-deposition-pdf (Accessed: 15 October 2022).
MLA 7 Citation
[author missing]. Handbook of Thin Film Deposition. 3rd ed. Elsevier Science, 2012. Web. 15 Oct. 2022.